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扫描电子显微镜(Scanning electron microscope--SEM)是以类似电视摄影显像的方式,通过细聚焦电子束在样品表面扫描激发出的各种物理信号来调制成像的显微分析技术。SEM在60’s商品化,应用范围很广;SEM成像原理与TEM完全不同,不用电磁透镜放大成像;新式SEM的二次电子分辨率已达1nm以下,放大倍数可从数倍原位放大到30万倍;景深大,可用于显微断口分析,不用 ...
回复(2) | 点击(3241)| 发表于 2008-09-26 16:14:22