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[分享]等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术..........【化学反应工程】
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术是一种薄膜制备的新技术，其原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，非常容易发生反应，从而在基片上沉积出所期望的薄膜。为使化学反应在较低温度下进行，利用等离子体的活性来促进反应。等离子体增强化学气相沉积的制备工艺的设备组成原理图：[URL=http://www.xianjichina.com/news ...
回复（0） | 点击（1021）| 发表于 2016-06-02 17:44:40